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    濺射離子泵的類型選擇

    二級型濺射離子泵在排除氬、氪和氙等惰性氣體時,經常會出現氬壓力循環上升的現象,即真空系統內德壓力突然脈沖式的上升然

    后又下降,壓力變化幅度為10-2Pa數量級。這種現象稱為“氬不穩定性”。給出了二級型噴濺離子泵在空氣壓力為10-3Pa時進行數

    百小時或在10-4Pa時進行數千小時排氣后所出現的氬不穩定性。為克服這種現象,出現了各種改進型的濺射離子泵的幾種改進型結

    構:

    1)二極型泵結構簡單,磁鐵的磁隙小,只是啟動壓力低。如果不是在高壓力下啟動而且對惰性氣體抽速無特殊要求,還是選用這種

    泵好。

    2)如果要求啟動壓力高,可以采用三極型結構,或采用其他輔助辦法。三極型結構工藝復雜,如果是三電位,電源也復雜。

    磁鐵的磁隙也大了。

    3)如果為了抽除氬、氦,可以采用多孔型陰極。但在鉭板上打孔麻煩。從工藝上考慮,可以采用非對稱型陰極。要從材料上考慮可

    以采用二電位三極型。

    4)磁控管型和端子板型都是為了提高對氬的抽速。放電強度、濺射能力都提高了,但工藝上困難較大。

    5)幾種泵對各種氣體抽氣

    能力相差較大,可按具體情況選用。

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